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Informazioni di Base.
Descrizione del Prodotto
Sistema ibrido di deposizione chimica in fase vapore con plasma avanzato HPCVD
1. Questo sistema CVD è progettato appositamente per la produzione di grafene, utilizzando un forno a tubo mini 1200ºC, dotato di un
misuratore di flusso di massa di precisione e vacuometro a film sottile.
2. Rispetto al misuratore di resistenza Pirani convenzionale, la lettura del misuratore a pellicola sottile è accurata e non influenzata dal
tipo di gas, molto adatto per il processo di rivestimento sotto vuoto.
3. Il forno a tubo CVD è dotato di un dispositivo di rilevamento di gas combustibile, collegato con un'elettrovalvola all'aria
uscita. Una volta che si verifica una perdita, l'elettrovalvola può essere chiusa per garantire la sicurezza.
4. Il forno a tubo CVD è dotato di ingombro ed è particolarmente adatto per la preparazione di CVD in laboratorio.
Specifiche di CVD con forno a tubo 1200C
| Forno a tubo a due zone di riscaldamento | Modello del prodotto | TN-PE-HPCVD-50R-1100-Q. | |
| Materiale tubo forno | Quarzo ad alta purezza | ||
| Diametro tubo | 50 mm | ||
| Lunghezza tubo forno | 1200 mm | ||
| Lunghezza camera forno | 440 mm | ||
| Lunghezza zona di riscaldamento | 200 mm+200 mm | ||
| Temperatura di esercizio | 0~1100ºC | ||
| Precisione del controllo della temperatura | ±1ºC | ||
| Modalità di controllo della temperatura | controllo della temperatura con programma a 30 o 50 segmenti | ||
| Modalità di visualizzazione | Schermo a sfioramento LCD HD a colori | ||
| Metodo di tenuta | flangia sottovuoto in acciaio inox 304 | ||
| Alimentazione | CA: 220V 50/60Hz 2.5kw | ||
| Sistema di uscita RF | Gamma di potenza | 0~500 W regolabili | |
| frequenza di lavoro | 13,56 MHz + 0.005% | ||
| Modalità di lavoro | Uscita continua | ||
| Modalità impedenza corrispondente | Può essere adattato e il bagliore è distribuito uniformemente in tutto il tubo del forno | ||
| Stabilità di potenza | ≤2 W. | ||
| Potenza riflessa di funzionamento normale | ≤3 W. | ||
| Potenza riflessa amplificata | ≤70 W | ||
| Componente armonico | ≤ -50 dBc | ||
| Efficienza complessiva | ≥70% | ||
| Fattore di potenza | ≥90% | ||
| Tensione/frequenza di alimentazione | Monofase CA (187 V~153 V) frequenza 50/60 Hz | ||
| Modalità di controllo | Controllo interno/ quantità analogica PLC/comunicazione RS232/485 | ||
| Impostazioni di protezione dell'alimentazione | Protezione da sovracorrente CC, protezione da sovratemperatura dell'amplificatore di potenza, protezione da potenza riflessa | ||
| Metodo di raffreddamento | Raffreddamento ad aria forzata | ||
| Zona di incandescenza | In Ar, l'alimentazione a radiofrequenza e la bobina cooperano con il bagliore per riempire il tubo del forno | ||
| Vaporizzazione barca | Temperatura di esercizio | 1300ºC | |
| Fonte di evaporazione | Cestello in filo di tungsteno, crogiolo in allumina rastremato opzionale | ||
| Termocoppia | Termocoppia di tipo s. | ||
| Corrente di esercizio | ≤30 A. | ||
| Potenza max | 500 W. | ||
| Sistema di erogazione del gas | Flussometro | Flussometro di massa a quattro canali | |
| Gamma di flusso | Gamma MFC1: 0~200sccm gamma MFC2: 0~200sccm Gamma MFC3: 0~500sccm gamma MFC4: 0~500sccm Corrispondente ai gas H2, CH4, N2, Ar. | ||
| Precisione della misurazione | ±1.5%F.S | ||
| Ripetibilità | ±0.2%FS | ||
| Precisione lineare | ±1%F.S. | ||
| Tempo di risposta | ≤4 s. | ||
| Pressione di lavoro | -0,15~0,15 Mpa | ||
| Controllo del flusso | Display digitale con display LCD a sfioramento, ciascun gas del canale contiene una valvola a spillo per il controllo individuale. | ||
| Interfaccia di aspirazione | Può essere collegato con diametro esterno di 1/4NPS o 6 mm tubo in acciaio inox | ||
| Interfaccia di uscita | Può essere collegato con diametro esterno di 1/4NPS o 6 mm tubo in acciaio inox | ||
| Metodo di connessione | Connettore a doppia boccola | ||
| Temperatura di esercizio | 5~45ºC | ||
| Premiscela gas | Dotato di premiscelatore per gas | ||
| Sistema di scarico | Modello del prodotto | TN-GZK103-A. | |
| Pompa molecolare | Pompa turbomolecolare | ||
| Pompa di sostegno | Pompa rotativa a palette a due stadi | ||
| Velocità di pompaggio | Pompa molecolare: 600L/S. | Prestazioni di pompaggio complete: 30 minuti di vuoto fino a 5×10E-3Pa | |
| Pompa rotativa a palette: 1.1L/S | |||
| Vuoto finale | 5×10E-4Pa | ||
| Porta di pompaggio | KF40 | ||
| Interfaccia di scarico | KF16 | ||
| Misurazione del vuoto | Vacuometro composto | ||
1. ABBIAMO una macchina CVD/PECVD con sistema di alimentazione gas+sistema di vuoto+forno a tubo + generatore di plasma.
Forno a tubo (temperatura): 1200C, 1400C, 1600C, temperatura personalizzata disponibile.
Forno a tubo (zona di riscaldamento): Zona singola, zona doppia, zona tripla, zona personalizzata è disponibile il numero di zona di riscaldamento.
4. Materiale del tubo: Quarzo, corindone, lega e altro materiale del tubo è personalizzabile.
5. Tubo con diametro e lunghezza diversi personalizzabile.
6. Generatore di plasma: 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, e l'altra potenza del generatore di plasma è personalizzabile.
7. Flussometro: 1~3 o flussometro multicanale è opzionale in base al processo.
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. È una società completa che integra design, ricerca e sviluppo, produzione e vendite.
I prodotti principali della nostra azienda sono: Spin coater, Thermal evaporation coater, magnetron sputter coater, plasma sputter coater, e-beam evaporation coater, Macchina per il rivestimento laser ad impulsi PLD, pulitore al plasma, sistema CVD, sistema PECVD, macchina per il taglio a filo diamantato, forno di fusione/stufa, forno di fusione ad arco, ecc.
I nostri prodotti sono ampiamente utilizzati nel campo della ricerca scientifica sui materiali. Abbiamo una cooperazione estesa con università nazionali, laboratori e nuove aziende di materiali. È stato esportato con successo in più di 20 paesi e regioni, inclusi Stati Uniti, Regno Unito, Germania, Russia, Svizzera, Canada, Brasile, ecc. e hanno stabilito rapporti di cooperazione a lungo termine con i commercianti locali.
Se state conducendo la ricerca sui materiali, vi preghiamo di contattarci e vi forniremo servizi personalizzati per rendere i vostri esperimenti di ricerca più fluidi! 
Possiamo spedire la CVD, PECVD macchina via mare, via aria, via terra e via Express, anche possiamo organizzare la spedizione secondo le vostre esigenze. 
D. sono produttori o società di commercio?
R. Siamo produttori professionali di strumenti da laboratorio, abbiamo un team professionale di ricerca e sviluppo e un'officina in grado di garantire la qualità e il servizio post-vendita.
D. come è la garanzia?
A. la nostra garanzia è di 12 mesi e garantisce una manutenzione a vita. Offriamo servizio on-line 24 ore su 24.
D. quanto dura il tempo di consegna? Se si desidera personalizzare lo strumento, quanto tempo è necessario?
A. 5-10 giorni----in negozio. Prodotti personalizzati---di solito richiede 30-60 giorni a seconda delle vostre esigenze.
D. alimentazione e spina?
R. possiamo fornire prodotti conformi al vostro standard di tensione e spina locale.
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A. T T, L / C, D / P, ECC.
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Mettetevi in contatto e possiamo collaborare per ottenere le risposte e le soluzioni di cui avete bisogno.
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