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Informazioni di Base.
Descrizione del Prodotto
Sistema di deposizione sputtering magnetron da laboratorio con potenza CC e RF alimentazione
MAGNETRON SPUTTERING: PANORAMICA
Lo sputtering è un processo di deposizione basato su plasma in cui gli ioni energetici vengono accelerati verso un bersaglio. Gli ioni colpiscono il bersaglio e gli atomi vengono espulsi (o sputterati) dalla superficie. Questi atomi viaggiano verso il substrato e si incorporano nella pellicola in crescita.
Caratteristiche del coater magnetron sputtering:
Il rivestimento catodico a triplo obiettivo magnetron è un'apparecchiatura di rivestimento catodico a magnetron economicamente vantaggiosa. È standardizzato, modulare e personalizzabile.
2. Ci sono obiettivi magnetron da 1, 2 e 3 pollici. È possibile scegliere il bersaglio in base alle dimensioni del substrato da rivestire.
3. Il coater magnetron sputtering è dotato di potenza c.c. da 500 W e potenza RF da 500 W. La potenza CC viene utilizzata per i materiali conduttivi e la potenza RF viene utilizzata per i materiali isolanti. Potenza da 300 W a 1000 W in base alle proprie esigenze.
4. Il coater di spruzzamento catodico a magnetron è dotato di un flussometro di massa a due canali ad alta precisione. I flussometri di massa a quattro canali sono
disponibile
5. Il spalmatore magnetron è dotato di pompa turbomolecolare, e il vuoto finale è fino a 10E-5Pa, altri tipi di pompe molecolari sono disponibili per l'acquisto.
6. Il percorso del gas della pompa molecolare è controllato da più elettrovalvole, è possibile aprire la camera per estrarre il campione senza
arresto della pompa.
7. Questo prodotto può essere dotato di un computer industriale integrato per il controllo del sistema.
Caratteristiche tecniche della spalmatrice di magnetron sputtering:
Nome prodotto | Trio catapatero magnetron sputtering | |
Fase campione | Dimensioni | Diam.150 mm |
Temperatura di riscaldamento | Max 500ºC | |
Precisione della temperatura | ±1ºC | |
Velocità di rotazione | regolabile da 1 a 20 giri/min | |
Magnetron sputtering Target | Quantità | 2"×3 (1",2" opzionale) |
Modalità di raffreddamento | Raffreddamento ad acqua | |
Refrigeratore dell'acqua | Refrigeratore ad acqua circolante con portata di 10 l/min | |
Camera a vuoto | Dimensioni camera | Diam.300*300mm |
Materiale della camera | Acciaio inox | |
Finestra di osservazione | Diam.100mm | |
Modalità di apertura | Apertura superiore | |
Flussometro di massa | 2 canali; gamma di misurazione 100 SCCM; 100 SCCM (personalizzabile in base alle esigenze del cliente) | |
Sistema a vuoto | Modello | CY-GZK103-A. |
Pompa molecolare | 600 l/s. | |
Pompa di sostegno | 1,1 l/s. | |
Vuoto finale | 1,0E-5Pa | |
Interfaccia di pompaggio | CF160 | |
Interfaccia di scarico | KF40 | |
Misurazione del vuoto | Vacuometro composto | |
Alimentazione | CA; 220V 50/60Hz | |
Velocità di pompaggio | Aspirare fino a 1,0E-3Pa in 20 minuti | |
Configurazione dell'alimentazione | Quantità | Alimentatore c.c. x2 Alimentatore RF x1 |
Potenza di uscita massima | CC 500 W, RF 300 W. | |
Altri parametri | Tensione di alimentazione | AC220V, 50Hz |
Potenza totale | 4 KW | |
Dimensioni complessive | 600 mm×650 mm×1280 mm | |
Peso totale | Circa 350 kg |
1. ABBIAMO magnetron sputtering coater con 1 bersaglio, 2 bersagli, 3 bersagli, 4 tagrst, ecc. Target può essere progettato in cima o in fondo alla camera.
2. È disponibile una potenza CC o una potenza RF target da 0 a 1000 W. La funzione di polarizzazione è opzionale.
3. Dimensioni target: 1", 2", 3", 4", ecc.
4. Il bersaglio magnetico forte e il bersaglio magenetico pernante sono opzionali
5. Spalmatrice di spruzzamento catodico con evaporazione, e-beam è disponibile
6. Il servizio personalizzato è sempre disponibile!
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. È una società completa che integra design, ricerca e sviluppo, produzione e vendite.
I prodotti principali della nostra azienda sono: Spin coater, Thermal evaporation coater, magnetron sputter coater, plasma sputter coater, e-beam evaporation coater, Macchina per il rivestimento laser ad impulsi PLD, pulitore al plasma, sistema CVD, sistema PECVD, macchina per il taglio a filo diamantato, forno di fusione/stufa, forno di fusione ad arco, ecc.
I nostri prodotti sono ampiamente utilizzati nel campo della ricerca scientifica sui materiali. Abbiamo una cooperazione estesa con università nazionali, laboratori e nuove aziende di materiali. È stato esportato con successo in più di 20 paesi e regioni, inclusi Stati Uniti, Regno Unito, Germania, Russia, Svizzera, Canada, Brasile, ecc. e hanno stabilito rapporti di cooperazione a lungo termine con i commercianti locali.
Se state conducendo la ricerca sui materiali, vi preghiamo di contattarci e vi forniremo servizi personalizzati per rendere i vostri esperimenti di ricerca più fluidi!
Possiamo spedire il magnetron sprutter coater via terra, via mare, via aria, per espresso, anche in grado di organizzare il pacchetto e la spedizione secondo le vostre esigenze.
D. sono produttori o società di commercio?
R. Siamo produttori professionali di strumenti da laboratorio, abbiamo un team professionale di ricerca e sviluppo e un'officina in grado di garantire la qualità e il servizio post-vendita.
D. come è la garanzia?
A. la nostra garanzia è di 12 mesi e garantisce una manutenzione a vita. Offriamo servizio on-line 24 ore su 24.
D. quanto dura il tempo di consegna? Se si desidera personalizzare lo strumento, quanto tempo è necessario?
A. 5-10 giorni----in negozio. Prodotti personalizzati---di solito richiede 30-60 giorni a seconda delle vostre esigenze.
D. alimentazione e spina?
R. possiamo fornire prodotti conformi al vostro standard di tensione e spina locale.
D. come pagare?
A. T T, L / C, D / P, ECC.
D. come si fa il pacchetto di merci? Metodi di consegna?
A. segno standard di fumigazione per l'esportazione imballaggio in scatole di legno o secondo le vostre esigenze.
IL MAGNETRON STA SPRUZZANDO IL GIUSTO PROCESSO PER IL VOSTRO LAVORO?
Contatta l'hotel e possiamo collaborare al tuo progetto.
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