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Informazioni di Base.
Descrizione del Prodotto
La deposizione fisica in fase vapore (PVD) elabora apparecchiature per la deposizione di film sottile per sputtering 
DEPOSIZIONE DI SPRUZZAMENTO
La deposizione per vaporizzazione catodica, altrimenti nota come sputtering, è il processo in cui il materiale non viene vaporizzato termicamente e gli atomi vengono fisicamente reindirizzati dal materiale sorgente al substrato per collisione da una particella che bombarda. La distanza dalla sorgente al substrato è molto più breve di quella della deposizione sotto vuoto. Lo spruzzatore può essere effettuato anche sotto una pressione plasmatica più alta di 5-20 mTorr e il materiale viene riscaldato da collisioni con molecole di gas. La sorgente di sputtering stessa può essere costituita da elementi, leghe, miscele o composti. Nitruro di titanio (stagno) e nitruro di zirconio (ZrN) insieme ad alcuni carbonio tipo diamante (DLC) misti di boro sono rivestimenti comuni per questo processo. Questa forma di deposizione è comunemente usata nella fabbricazione di semiconduttori, su vetro architettonico, rivestimenti riflettenti, compact disc (CD), pellicole magnetiche, lubrificanti a pellicola asciutta e rivestimenti decorativi.
La macchina per spalmatura catodica a magnetron DC è solitamente utilizzata per spalmatura catodica diretta per diversi substrati, come ad esempio materiali plastici, vetro, metallo, ceramica, ecc.
Abbiamo dedicato più di 10 anni alla produzione e alla progettazione di magnetron che possono essere rettangolari, cilindrici, circolari e di varie dimensioni. Hanno sviluppato una pletora di bersagli che possono essere raffreddati direttamente o legati, e possono essere fabbricati in modo tale da adattarsi alla maggior parte delle dimensioni di magnetron.
I campi magnetici possono essenzialmente definire il comportamento e le proprietà delle particelle cariche ioniche che vengono utilizzate per la polverizzazione catodica. Lo sviluppo e la commercializzazione di software che possono consentire la modellazione distinta dello sputtering di magnetron è destinato ad aumentare la sua produttività, applicabilità e riproducibilità.
| Specifiche tecniche |
| Numero modello | SP-1000 | SP-1200 | SP-1400 | SP-1800 |
| Dimensione della camera a vuoto | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 |
| (diametro*altezza) | ||||
| Materiale camera a vuoto | Acciaio al carbonio, SUS304 o SUS316L | |||
| Quantità di catodi di sputtering | ≥1 set, sistema di spruzzatura catodica CC, catodi cilindrici o rettangolari | |||
| Impianto di pompaggio | Pompe turbomolecolari o pompa di diffusione+pompa meccanica | |||
| Tempo di pompaggio | Dall'atmosfera a 5.0*10-2Pa a meno di 8 minuti | |||
| Sistema di distribuzione del gas con regolatori di flusso di massa | ≥2 set | |||
| Vuoto finale | 5.0*10-4 Pa | |||
| Temperatura di esercizio | Temperatura ambiente | |||
| Modalità di lavoro | Modalità automatica o manuale, da 10.4 (o 15) pollici PLC touchscreen | |||
| Potenza totale | 40 kW | 70 kW | ||
| Queste unità possono essere personalizzate | 1. Dimensioni della camera a vuoto | |||
| 2. Quantità di catodi sputtering | ||||
| 3. Configurazioni delle pompe | ||||
| 4. Sistema di distribuzione del gas | ||||
| Strumenti opzionali | 1. Monitor spessore rivestimenti | |||
| 2. Rilevatore di perdite | ||||
| 3. Sistema di deposizione di ioni ad arco (non per modello continuo) | ||||
| 4. Sistema di evaporazione (non per modello continuo) | ||||
PS: Tutte le specifiche possono essere personalizzate in base alle vostre richieste.
1. L'imballaggio interno è costituito da una pellicola protettiva in plastica per proteggere la macchina PVD da umidità e pioggia.
2. L'imballaggio esterno è una piastra di compensato con acciaio per mantenere la macchina PVD in buone condizioni durante il trasporto a lunga distanza.
Dopo che il cliente ha testato la macchina per rivestimento PVD e si è assicurato che non vi siano problemi, la macchina verrà separata. L'imballaggio solido può assicurarsi che riceverete una macchina senza alcuna distruzione.
Guida alla richiesta:
La macchina per rivestimento PVD può essere utilizzata per materiali e industrie differenti. Per consigliarvi la macchina appropriata, abbiamo bisogno del vostro aiuto per dirci:
Qual è il materiale del vostro prodotto?
Qual è la dimensione massima della parte?
Qual è la dimensione dei ricambi più comune?
Qual è la quantità desiderata di parti da rivestire quotidianamente?
Quali sono i colori di rivestimento o rivestimenti desiderati?