- Panoramica
- Descrizione del prodotto
- Parametri del prodotto
- Foto dettagliate
Informazioni di Base.
Descrizione del Prodotto
la deposizione chimica in fase vapore adotta la tecnologia di deposizione chimica in fase vapore potenziata dal plasma, che può utilizzare plasma ad alta energia per promuovere il processo di reazione, aumentare efficacemente la velocità di reazione e ridurre la temperatura di reazione.
È adatto per depositare film sottili di nitruro di silicio, silicio amorfo e silicio microcristallino su diversi substrati come vetro ottico, silicio, quarzo e acciaio inossidabile. Ha una buona qualità di formazione della pellicola, meno fori e non è facile da rompere. È adatto per la preparazione di dispositivi a celle solari a film sottile di silicio amorfo e silicio microcristallino. Può essere ampiamente utilizzato nella ricerca scientifica e nella preparazione di piccoli lotti di materiali in film sottile in Collegi e università e istituti di ricerca scientifica.
Alimentazione RF | Frequenza del segnale | 13,56 MHz | |
Gamma di potenza in uscita | 0~500 W. | ||
Potenza riflessa massima | 100 W. | ||
Potenza riflessa (alla massima potenza) | <5 W. | ||
Stabilità di potenza | ±0.1% | ||
Camera di lavoro | Temperatura di riscaldamento | RT-1000ºC | |
Precisione del controllo della temperatura | ±1ºC | ||
Portacampioni | Φ200mm | ||
Velocità di rotazione del portacampioni | regolabile da 1 a 20 giri/min | ||
Dimensioni della testa di spruzzo | Φ90mm | ||
Distanza | La distanza tra la testa di spruzzo e il campione è 40 mm regolabile in continuo | ||
Vuoto di lavoro per deposizione | 133 -133 Pa (regolabile secondo il processo tecnico) | ||
Flangia | La flangia superiore può essere sollevata dal motore, il substrato è facile da sostituire e c'è una finestra visiva | ||
Camera | Materiale in acciaio inox, Φ500mm * 500 mm | ||
Finestra osservazione | Φ100mm, con deflettore | ||
Alimentazione gas sistema | Numeri dei canali | 6 | |
Unità di misura | Regolatore del flusso di massa | ||
Campo di misura | Canale a: 0~200SCCM per H2 | Nota: Se sono richiesti altri intervalli, specificare al momento dell'ordine. In base alle specifiche esigenze del cliente, il flussometro del tipo e della gamma di gas corrispondenti è opzionale. | |
Canale B: 0~200SCCM per CH4 | |||
Canale C: 0~200SCCM per C2H4 | |||
Canale C: 0~500SCCM per N2 | |||
Canale D: 0~500SCCM per NH3 | |||
Canale e: 0~500SCCM per Ar | |||
Precisione della misurazione | ±1.5%F.S | ||
Differenza di pressione di esercizio | -0,15~0,15 Mpa | ||
Tubo di collegamento | acciaio inossidabile 304 | ||
Canale del gas | valvola a spillo in acciaio inox 304 | ||
Specifiche dell'interfaccia | raccordo a ghiera da 1/4" per ingresso e uscita gas | ||
Sistema a vuoto | Pompa di sostegno | 4,7 l/s. | |
Pompa molecolare | 1200 l/s. | ||
Misurazione del vuoto | Vacuometro composto, gamma 10-5Pa ~ 105Pa | ||
Grado di vuoto | 5.0*10-3Pa | ||
Refrigeratore dell'acqua | Temperatura dell'acqua di raffreddamento | <=37ºC | |
Flusso d'acqua | 10 l/min | ||
Potenza | 0,1KW | ||
Potenza di raffreddamento | 50 W/ºC | ||
Alimentazione | AC220V 50 Hz |
Fondata nel 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. È un'azienda specializzata nello sviluppo e nella produzione di attrezzature per la ricerca tecnologica di laboratorio. I prodotti sono mescolati, pressati, bruciati, tagliati, macinati, apparecchiature analitiche lucidate, rivestite e materiali di consumo correlati. I prodotti includono apparecchiature di sinterizzazione da laboratorio, apparecchiature di rivestimento e così via. Attualmente, è stato esportato in 25 paesi e regioni come gli Stati Uniti, l'Europa e il Sud-Est asiatico, ed è stato accolto con favore da varie unità di ricerca scientifica.
Abbiamo un team maturo di ricerca e sviluppo tecnologico, il numero di tecnici è 33, l'azienda ha 150 persone, più di 500 metri quadrati di spazio ufficio, la fabbrica copre un'area di circa 1,500 metri quadrati situato nel Parco industriale elettronico zona high-tech Zhengzhou. I prodotti sono principalmente localizzati nel mercato della ricerca, al servizio della ricerca scientifica nei laboratori di università e università, e possono anche personalizzare i prodotti in base alle vostre esigenze.
D. sei un produttore o una società di commercio?
R. Siamo produttori di strumenti da laboratorio professionali, abbiamo un team di progettazione e una fabbrica propri, abbiamo maturato esperienza tecnica e siamo in grado di garantire la qualità dei prodotti e il prezzo ottimale.
D. come è il sistema di assistenza post-vendita dei prodotti della vostra azienda?
A. il periodo di garanzia del prodotto è di 12 mesi, possiamo fornire una manutenzione a vita. Disponiamo di reparti professionali di prevendita e post-vendita in grado di rispondere entro 24 ore per risolvere qualsiasi problema tecnico.
D. quanto dura il tempo di consegna? Se si desidera personalizzare lo strumento, quanto tempo è necessario?
A.1. Se le merci sono in magazzino, sono 5-10 giorni. 2. Possiamo fornire servizi personalizzati ai nostri clienti. In genere, sono necessari 30-60 giorni a seconda delle specifiche dello strumento personalizzato.
D. l'alimentazione e la spina del nostro paese sono diverse. Come lo risolvete?
A. possiamo fornire un trasformatore e una spina secondo le vostre esigenze locali secondo la spina di alimentazione di diversi paesi.
D. come pagare?
AFT / T, L / C, D / P, ecc., si consiglia di utilizzare Alibaba Trade Guarantee.
D. come si fa il pacchetto di merci? Metodi di consegna?
A.1. Cartello fumigativo standard per l'esportazione imballaggio in scatola di legno 2. Spedizione express, aerea, marittima secondo le esigenze del cliente, trovare il modo più adatto.
Per ulteriori domande, contattare il servizio clienti