- Panoramica
- Descrizione del prodotto
- Parametri del prodotto
- Foto dettagliate
Informazioni di Base.
Descrizione del Prodotto
La deposizione chimica in fase vapore potenziata da plasma (PECVD) è un tipo di deposizione chimica in fase vapore caratterizzata dall'uso di attivazione al plasma a basse temperature per migliorare la reazione di deposizione chimica in fase vapore. I vantaggi di questo metodo sono che la temperatura di deposizione è bassa, la velocità di deposizione è rapida, e la pellicola prodotta ha eccellenti proprietà elettriche, buona adesione del substrato ed eccellente copertura a gradino.
Aree di applicazione della deposizione da fase vapore PECVD:
I sistemi CVD potenziati con plasma possono essere utilizzati in: Preparazione di grafene, preparazione di solfuro, preparazione di nanomateriali e altri siti di test. Una varietà di film come SiOx, SiNx, silicio amorfo, silicio microcristallino, nano-silicio, Sulla superficie di campioni in fiocco o simili possono essere depositati SIC, simili a diamante, ecc. e possono essere depositati film drogati di tipo P e di tipo N. Il film depositato ha buona uniformità, compattezza, adesione e isolamento. Ampiamente utilizzato in utensili da taglio, stampi ad alta precisione, rivestimenti duri, decorazioni di alta qualità e altri campi, la deposizione da vapore PECVD ha un'ampia gamma di applicazioni in circuiti integrati su scala ultra ampia, dispositivi optoelettronici, MEMS e altri campi.
Numero di modello | CY-PECVD-200SST | |||
Dimensione cavità | Phi 500 - | |||
Lunghezza della zona calda | 200 | |||
Alimentazione RF | 500 W- | |||
Temperatura | 1000 ºC | |||
Pompa per forestage | Set di pompe molecolari | |||
Tipo di visualizzazione | T | |||
Zona calda | I- | |||
Radiatore dell'acqua | CW5200 | |||
Materiale cavità | SS | |||
Riscaldamento del campione Temperatura di riscaldamento | Al di sopra di RT-1000ºC , precisione del controllo della temperatura: ±1.C , utilizzando un misuratore di controllo della temperatura per il controllo della temperatura; Velocità regolabile: 1-20 giri/min. Regolabile | |||
Dimensioni della testa di spruzzo | Φ90mm, la distanza tra la testa di spruzzo e il campione di 40 mm continua in linea regolabile (può essere regolata in base al processo) e con un indicatore di riga | |||
Tabella di esempio | diametro 200 mm | |||
Vuoto di lavoro per deposizione | 0.133-133 Pa (regolabile in base al processo) | |||
Flangia superiore | Può essere sollevato dal motore, il substrato è facile da cambiare e c'è una porta visiva | |||
Tabella substrato | Movimento lineare e azimutale del piano del substrato, riscaldamento del substrato e controllo della temperatura, controllo del piano di montaggio e dello schermo a sfioramento, movimento lineare del substrato controllato manualmente e rotazione del substrato controllata da motori CC | |||
Camera a vuoto | Apertura porta anteriore, φ500mm x 500 mm in acciaio inox | |||
Finestra osservazione | φ100mm con deflettore | |||
Flussometro di massa | Flussometro di massa a sei vie | |||
Numero di percorsi del gas | Sei percorsi | |||
Gamma di pressione | Da 0.15 MPa a 0.15 MPa | |||
Intervallo | Da 0 a 100 SCCM (ossigeno) Da 0 a 100 SCCM (CF4) Da 0 a 200 SCCM (SF6) Da 0 a 200 SCCM (argon) Da 0 a 500 SCCM (altri gas aria) 0-500 SCCM (altri gas azoto) | |||
Gamma di controllo del flusso | Più o meno 1.5% | |||
Materiale percorso gas | acciaio inossidabile 304 | |||
Raccordo per tubi | giunto boccola da 6,35 mm | |||
Sistema a vuoto | Pompa anteriore: Pompa a vuoto oil-free 4.7L/S. Pompa molecolare: 1200L/S. | |||
Campo di misura | Da 1 x 10-5 a 1 x 105 Pa | |||
Precisione della misurazione | 1 x 10-5 ~ 1 x 10-4Pa±40% lettura 1 x 10-4 ~ 1 x 105Pa per una lettura di ±20% |
Fondata nel 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. È un'azienda specializzata nello sviluppo e nella produzione di attrezzature per la ricerca tecnologica di laboratorio. I prodotti sono mescolati, pressati, bruciati, tagliati, macinati, apparecchiature analitiche lucidate, rivestite e materiali di consumo correlati. I prodotti includono apparecchiature di sinterizzazione da laboratorio, apparecchiature di rivestimento e così via. Attualmente, è stato esportato in 25 paesi e regioni come gli Stati Uniti, l'Europa e il Sud-Est asiatico, ed è stato accolto con favore da varie unità di ricerca scientifica.
Abbiamo un team maturo di ricerca e sviluppo tecnologico, il numero di tecnici è 33, l'azienda ha 150 persone, più di 500 metri quadrati di spazio ufficio, la fabbrica copre un'area di circa 1,500 metri quadrati situato nel Parco industriale elettronico zona high-tech Zhengzhou. I prodotti sono principalmente localizzati nel mercato della ricerca, al servizio della ricerca scientifica nei laboratori di università e università, e possono anche personalizzare i prodotti in base alle vostre esigenze.
D. sei un produttore o una società di commercio?
R. Siamo produttori di strumenti da laboratorio professionali, abbiamo un team di progettazione e una fabbrica propri, abbiamo maturato esperienza tecnica e siamo in grado di garantire la qualità dei prodotti e il prezzo ottimale.
D. come è il sistema di assistenza post-vendita dei prodotti della vostra azienda?
A. il periodo di garanzia del prodotto è di 12 mesi, possiamo fornire una manutenzione a vita. Disponiamo di reparti professionali di prevendita e post-vendita in grado di rispondere entro 24 ore per risolvere qualsiasi problema tecnico.
D. quanto dura il tempo di consegna? Se si desidera personalizzare lo strumento, quanto tempo è necessario?
A.1. Se le merci sono in magazzino, sono 5-10 giorni. 2. Possiamo fornire servizi personalizzati ai nostri clienti. In genere, sono necessari 30-60 giorni a seconda delle specifiche dello strumento personalizzato.
D. l'alimentazione e la spina del nostro paese sono diverse. Come lo risolvete?
A. possiamo fornire un trasformatore e una spina secondo le vostre esigenze locali secondo la spina di alimentazione di diversi paesi.
D. come pagare?
AFT / T, L / C, D / P, ecc., si consiglia di utilizzare Alibaba Trade Guarantee.
D. come si fa il pacchetto di merci? Metodi di consegna?
A.1. Cartello fumigativo standard per l'esportazione imballaggio in scatola di legno 2. Spedizione express, aerea, marittima secondo le esigenze del cliente, trovare il modo più adatto.
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