Deposizione chimica in fase vapore potenziata al plasma PECVD

Servizio post-vendita: 1 anno
Garanzia: 1 anno
Applicazione: Industria, Scuola, Laboratorio
su misura: su misura
Certificazione: CE
Struttura: Desktop

Products Details

  • Panoramica
  • Descrizione del prodotto
  • Parametri del prodotto
  • Foto dettagliate
Panoramica

Informazioni di Base.

Model No.
CY-PECVD-240
Materiale
Acciaio inossidabile
Digitare
tubolare Furnace
metodo di raffreddamento dell′alimentatore rf
raffreddamento ad aria
zona di riscaldamento
zona di riscaldamento singola 200 mm
precisione della temperatura
+-1c
materiale tubo forno
quarzo ad alta purezza
dimensioni tubo forno
diam. 50*1200 mm
velocità regolabile
0-20 giri/min
Pacchetto di Trasporto
Standard Export Wooden Packaging
Marchio
CYKY
Origine
Zhengzhou Henan China
Codice SA
8401200000
Capacità di Produzione
50sets Per Month

Descrizione del Prodotto

Deposizione chimica in fase vapore potenziata al plasma PECVD per silicio amorfo e. film di silicio microcristallino
Descrizione del prodotto

Deposizione chimica in fase vapore CY-PECVD-240 con tecnologia di deposizione chimica in fase vapore potenziata al plasma, bassa temperatura di base, velocità di deposizione rapida, deposizione di nitruro di silicio, silicio amorfo e pellicole di silicio microcristallino su vetro ottico, silicio, quarzo, acciaio inossidabile e altri materiali di substrato, buona qualità di formazione della pellicola, meno fori di spillo, non facile da rompere. È adatto per la preparazione di dispositivi a celle solari a film sottile di silicio amorfo e silicio microcristallino, e può essere ampiamente utilizzato nella ricerca e nella preparazione di piccoli lotti di materiali a film sottile in università e università e istituti di ricerca scientifica.

Funzioni e caratteristiche principali:


L'apparecchiatura PECVD utilizza il principio della scarica capacitiva a incandescenza a piastra piatta per dissociare il gas di processo che passa nella camera di deposizione e generare plasma. I gruppi dissociati reagiscono chimicamente nel plasma. A causa della presenza di plasma, si promuovono la decomposizione, la combinazione, l'eccitazione e la ionizzazione di molecole di gas, e si promuove la formazione di gruppi reattivi, riducendo così la temperatura di deposizione. Una pellicola viene depositata su un substrato ad una certa temperatura. La densità e l'energia del plasma possono essere regolate secondo il processo, e la velocità di crescita e la microstruttura del film possono essere controllate.

Parametri del prodotto
Modello del prodotto CY-PECVD-240 apparecchiature per la deposizione chimica in fase vapore
Condizione di installazione L'apparecchiatura deve essere utilizzata a un'altitudine inferiore a 1000 m, a una temperatura di 25 ° C ±15 ° C e a un'umidità di 55% RH±10% RH.
1, acqua: L'apparecchiatura è dotata di una macchina di raffreddamento a circolazione automatica (riempita con acqua pura o deionizzata)
2, elettricità: AC220V 50Hz, deve avere una buona messa a terra
Gas: L'azoto/argon (purezza superiore al 99.99%) deve essere riempito nella camera dell'apparecchiatura e la bombola di gas necessaria per l'esperimento deve essere preparata da sola (con giunto a doppio manicotto da Ø10mm) e valvola di riduzione della pressione
4, dispositivo di ventilazione: richiesto
Funzione principale 1. Bassa temperatura di formazione della pellicola richiesta
Velocità di deposizione rapida e ampia applicazione
3. Dimensioni ridotte, facile da usare
4. Facile da controllare utilizzando la radiofrequenza come sorgente di miglioramento
5. Facile da pulire e installare.
6. Comando touch screen integrato
Alimentazione a radiofrequenza Frequenza del segnale: 13,56 MHz±0.005%
Potenza di uscita: 0~500 W.
Potenza riflessa: <3 W (potenza massima)
Stabilità di potenza: ±0.1%
Camera a vuoto La modalità di accoppiamento capacitivo viene adottata con la tabella dei campioni in basso e l'ugello di alimentazione del gas in alto.
Riscaldamento del campione: RT-1000ºC superiore, precisione del controllo della temperatura: ±1°C.
Velocità campione: Velocità regolabile: 1-20 giri/min. Regolabile
Testa di spruzzo: Distanza di Φ100mm 40-100mm online regolabile in continuo
Stativo campioni: Diametro 100 mm
Camera a vuoto: Tipo con sportello anteriore, φ245mm x 300 mm in acciaio inox
Finestra di osservazione: φ100mm con deflettore
Sistema di alimentazione del gas Campo di misura
Canale A: 0 ~ 200SCCM, gas Ar
Canale B: Da 0 a 200 SCCM, gas O2
Canale C: 0 ~ 200 SCCM, gas N2
Fonte liquida: Argon o azoto
Specifiche del connettore: Connettore a manicotto da 6,35 mm
Sistema a vuoto Tipo di porta, porta di aspirazione: KF40;porta di scarico: G1"
Velocità di scarico
Azoto: 60 l/S.
Azoto con rete protettiva: 55L/S.
Tipo di cuscinetto: Cuscinetto in ceramica, lubrificato a grasso
Metodo di raffreddamento: Raffreddamento ad aria forzata
Velocità: 6000giri/min
Tempo di avvio: Da 1.5 a 2 minuti
Tempo di sosta: Da 15 a 25 minuti
Rapporto di compressione N2:2x 107
Rapporto di compressione H2:3x 103
Contropressione massima ammessa: 800 Pa
Durata dei cuscinetti: 20000 ore
Controller della pompa molecolare: TC75
Tipo di pompa ausiliaria: Pompa a vuoto rotativa a palette a due stadi
Velocità di scarico: 160 l/min
Studio di deposizione 0.133-40Pa(regolabile in base al processo)
Vacuometro Vacuometro combinato
Radiatore dell'acqua Portata acqua: 10L/min;potenza: 0.1Kw
Temperatura dell'acqua di raffreddamento: <37ºC
Periodo di garanzia Il periodo di garanzia standard è di 1 anno
Foto dettagliate

 

Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor DepositionPecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor DepositionPecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition


Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Fondata nel 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. È un'azienda specializzata nello sviluppo e nella produzione di attrezzature per la ricerca tecnologica di laboratorio. I prodotti sono mescolati, pressati, bruciati, tagliati, macinati, apparecchiature analitiche lucidate, rivestite e materiali di consumo correlati. I prodotti includono apparecchiature di sinterizzazione da laboratorio, apparecchiature di rivestimento e così via. Attualmente, è stato esportato in 25 paesi e regioni come gli Stati Uniti, l'Europa e il Sud-Est asiatico, ed è stato accolto con favore da varie unità di ricerca scientifica.

Abbiamo un team maturo di ricerca e sviluppo tecnologico, il numero di tecnici è 33, l'azienda ha 150 persone, più di 500 metri quadrati di spazio ufficio, la fabbrica copre un'area di circa 1,500 metri quadrati situato nel Parco industriale elettronico zona high-tech Zhengzhou. I prodotti sono principalmente localizzati nel mercato della ricerca, al servizio della ricerca scientifica nei laboratori di università e università, e possono anche personalizzare i prodotti in base alle vostre esigenze.

Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

D. sei un produttore o una società di commercio?
R. Siamo produttori di strumenti da laboratorio professionali, abbiamo un team di progettazione e una fabbrica propri, abbiamo maturato esperienza tecnica e siamo in grado di garantire la qualità dei prodotti e il prezzo ottimale.

D. come è il sistema di assistenza post-vendita dei prodotti della vostra azienda?
A. il periodo di garanzia del prodotto è di 12 mesi, possiamo fornire una manutenzione a vita. Disponiamo di reparti professionali di prevendita e post-vendita in grado di rispondere entro 24 ore per risolvere qualsiasi problema tecnico.

D. quanto dura il tempo di consegna? Se si desidera personalizzare lo strumento, quanto tempo è necessario?
A.1. Se le merci sono in magazzino, sono 5-10 giorni. 2. Possiamo fornire servizi personalizzati ai nostri clienti. In genere, sono necessari 30-60 giorni a seconda delle specifiche dello strumento personalizzato.

D. l'alimentazione e la spina del nostro paese sono diverse. Come lo risolvete?
A. possiamo fornire un trasformatore e una spina secondo le vostre esigenze locali secondo la spina di alimentazione di diversi paesi.

D. come pagare?
AFT / T, L / C, D / P, ecc., si consiglia di utilizzare Alibaba Trade Guarantee.

D. come si fa il pacchetto di merci? Metodi di consegna?
A.1. Cartello fumigativo standard per l'esportazione imballaggio in scatola di legno 2. Spedizione express, aerea, marittima secondo le esigenze del cliente, trovare il modo più adatto.

Per ulteriori domande, contattare il servizio clienti


 

Contattaci

Non esitare a inviare la tua richiesta nel modulo sottostante Ti risponderemo entro 24 ore