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Informazioni di Base.
Descrizione del Prodotto
Camera da vuoto PVD a deposizione fisica in fase di vapore
| Foto macchina |
| Evaporazione dell'arco catodico |
In questo processo, un arco di diametro compreso tra micron e pochi decimi di micron, viene fatto passare sul materiale di rivestimento metallico solido, facendolo evaporare. Le elevate correnti e densità di potenza utilizzate provocano una ionizzazione quasi completa del materiale evaporato e, di conseguenza, la formazione di un plasma ad alta energia.
Gli ioni metallici si combinano con un gas reattivo che viene introdotto nella camera, colpiscono gli utensili o i componenti bersaglio con alta energia e si depositano come un rivestimento sottile ed altamente aderente.
| Informazioni sul processo |
1. Argon
2. Gas reattivo
3. Fonti di arco (materiale di rivestimento e piastra di supporto)
4. Componenti/Strumenti
5. Pompa a vuoto
PS: Tutte le origini dei ricambi standard possono essere sostituite secondo le richieste del cliente.
| Rivestimenti comuni realizzati dalla nostra macchina |
| Specifiche tecniche |
| Numero modello | ARC-600 | ARC-900 | ARC-1000 | ARC-1200 |
| Dimensione della camera a vuoto(diametro*altezza) | 600*700 mm | 900*1000 | 1000*1100 | 1000*1200 |
| Materiale camera a vuoto | SUS304 o SUS316L con camicia di raffreddamento | |||
| Quantità di sorgenti di arco | 1-4 set | 6-9 set | 8-12 set | 10-14 set |
| Impianto di pompaggio | pompa molecolare o pompa di diffusione+pompa meccanica | pompa molecolare o pompa di diffusione + pompe meccaniche, pompa di caricamento | ||
| Tempo di pompaggio | Dall'atmosfera a 5.0*10-2Pa a meno di 8 minuti | |||
| Alimentazione di polarizzazione | 10 kW | 15 kW | 20 kW | 20 kW |
| Sistema di distribuzione del gas con regolatori di flusso di massa | ≥3 set | |||
| Limite di vuoto | 5.0*10-4 Pa | |||
| Temperatura di esercizio | Fino a 550 centigradi tp | |||
| Modalità di lavoro | Modalità automatica o manuale, con schermo touch PLC da 10.4 pollici | |||
| Potenza totale | 40 kW | 40 kW | 40 kW | 70 kW |
| Ingombro | 2*2 metri | 2*3 metri | 3*3 metri | 3*3 metri |
| Queste unità possono essere personalizzate | 1. Dimensioni della camera a vuoto 2. Quantità di sorgenti di arco 3. Configurazioni delle pompe 4. Sistema di distribuzione del gas | |||
| Strumenti opzionali | 1. Monitor spessore rivestimenti 2. Rilevatore di perdite 3. Sistema di spruzzamento catodico magnetron 4. Sistema di evaporazione | |||
| Riferimenti dei clienti |
| Anno | Nazionalità del cliente | Specifiche generali della macchina PVD | Applicazione |
| 2011 | Messico | 1000X1100mm, 3 gas, pompa di diffusione+ +pompa Roots+pompe meccaniche | Rivestimenti duri in PVD: Stagno, CRN, TiAlN, ecc. |
| 2016 | Messico | 1000X1100mm, 3 gas, pompa di diffusione+ +pompa Roots+pompe meccaniche | Rivestimenti duri in PVD: Stagno, CRN, TiAlN, ecc. |
| 2015 | Tunisia | 700X800mm, 3 gas, pompa di diffusione+ +pompa Roots+pompe meccaniche | Rivestimenti duri in PVD: Stagno, TiCN, TiAlN, ecc. |
| 2017 | Slovacchia | 700X800mm, 3 gas, pompe molecolari turbo + +pompa Roots+pompe meccaniche | Rivestimenti duri in PVD: Stagno, TiCN, CRN, TiAlN, ecc. |
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